在使用油擴(kuò)散泵的高真空環(huán)境中都存在著一定的殘余氣體,80%以上是水蒸汽、油蒸汽及其他高沸點(diǎn)的蒸汽,但其抽除殘余氣體的能力低,時(shí)間長(zhǎng),而且所有殘余氣體還是工件的污染源,從而使產(chǎn)品的產(chǎn)量和質(zhì)量受到影響。低溫直冷機(jī)則是解決這類問題的上佳選擇。
在使用油擴(kuò)散泵的高真空環(huán)境中都存在著一定的殘余氣體,80%以上是水蒸汽、油蒸汽及其他高沸點(diǎn)的蒸汽,但其抽除殘余氣體的能力低,時(shí)間長(zhǎng),而且所有殘余氣體還是工件的污染源,從而使產(chǎn)品的產(chǎn)量和質(zhì)量受到影響。低溫直冷機(jī)則是解決這類問題的上佳選擇。
直冷式超低溫制冷機(jī)的工作原理:將一個(gè)能到-120℃以下的制冷盤管,放置在真空室中或油擴(kuò)散泵的泵口,通過其表面的低溫冷凝效應(yīng), 迅速捕集真空系統(tǒng)的殘余氣體。從而大大縮短抽真空的時(shí)間(可縮短60-90%的抽氣時(shí)間)、獲得潔凈的真空環(huán)境。
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